日本SEM坂本電機精密水準儀的應用

什么是精度等級？

精密水平儀用于檢查制造過程中的水平度，例如需要高水平標準的精密設備。通過測量液體內(nèi)部氣泡的位置，精密水平儀的位置決定了液位的陡度。水平儀的精度由 JIS 標準嚴格定義。基本上，水平度是通過目視檢查的，但也可以使用精密水平儀，通過傳感器測量氣泡的位置，并可以獲得數(shù)字信號的傾斜度。

精密水準儀的應用

精密水準儀用于需要高精度的制造現(xiàn)場，例如精密儀器、半導體、顯示器等的制造過程中。在機床和制造設備操作前或安裝過程中使用。它們也可以安裝在每項任務都需要高度平整的設備上。選擇精度等級時，需要考慮測量精度、抗振性、是數(shù)字型還是模擬型、是否適合使用的環(huán)境、測量的難易程度、尺寸等。

精度等級原理

我們將解釋精密水平儀的測量原理。精密水準儀由確保水平度的精確刻度容器和連接容器的精密外殼組成。該容器稍微彎曲并包含一定量的液體和氣體。數(shù)字型的情況下，圖像傳感器內(nèi)置于觀察氣泡的部分。

目視測量時，通過目視檢查容器上刻度上氣泡所在的位置來確定精密水準儀所在位置的斜率。如果是數(shù)字型，內(nèi)置控制板通過處理從傳感器獲得的圖像來計算傾斜度，并將其顯示在顯示器上。它還可以將傾斜度作為電信號傳輸?shù)狡渌蛇B接設備，執(zhí)行反饋控制，并充當傳感器以保持水平度。由于其機制，在振動較大或高溫的環(huán)境中可能無法正常工作，因此請小心。

精度等級類型

精密級的結構和精度由日本工業(yè)標準JIS確定。

精度等級根據(jù)靈敏度分為三種類型。根據(jù) JIS 標準，水平儀的靈敏度分為三種類型：類型 1（0.02 毫米/米，約 4 秒）、類型 2（0.05 毫米/米，約 10 秒）和類型 3（0.1 毫米/米，約 10 秒）。 20 秒）。靈敏度是氣泡移動一格所需的傾斜角度，靈敏度顯示是基于相對于1米底座的高度。

例如，在類型1的情況下，用1個刻度每1米的底座檢測到0.02mm的高度。當氣泡使用300mm水平儀（類型1：靈敏度0.02mm/m）移動一個刻度時，水平儀一端到另一端有6μm的高度差。

靈敏度也以傾斜角度（秒）表示。一秒的角度為每米 4.85 μm。

• 1 級 0.02mm/m = 角度 4 秒 = 0.00111°

• 類型 2 0.05mm/m = 角度 10 秒 = 0.00277°

• 類型 3 0.1mm/m = 角度 20 秒 = 0.0055°

精度等級等級

根據(jù)JIS標準，精度等級根據(jù)其性能（精度）分為A-級和B級。各性能的交集如下。準確度是測量儀器所表示的數(shù)值或測量結果的整體質量，包括準確度和精密度（變異程度小），是指測量中的變異程度。進行測量時，測量值為±精度，±精度中包含用于測量目的的真實值。

根據(jù)JIS，精度如下。

• 全量程精度（1種）：A-級±0.5刻度，B級±0.7刻度

• 全量程精度（2級和3級）：A-級±0.3刻度，B級±0.5刻度

• 相鄰精度（1級、2級、3級）：A-級0.2級、B級0.5級

A-級和B級精度不同，精度值又分為1型、2型、3型、全量程精度、鄰近精度。如精度等級類型中所述，類型 1、類型 2 和類型 3 是根據(jù)精度等級的靈敏度而有所不同。全量程精度是指精密水平儀在其整個量程范圍內(nèi)的精度。相鄰精度是相鄰刻度精度的規(guī)范。