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全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導體曝光設備
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。
| 模型 | PPS-8200p1/8300p1 |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 6/8/12英寸 |
| 解決 | 2.0 µmL/S（2.0 µm 抗蝕劑厚度） |
| NA（數值孔徑） | 0.16、0.1 變量 |
| 減速比 | 1:1 |
| 場地大小 | 52毫米×33毫米 |
| 曝光波長 | ghi-Line gh-line i-line（食譜鏈接） |
| 標線尺寸 | 6寸 |
| 疊加精度 | ≤0.5 µm(|平均|+3σ) |
| 設備尺寸/重量 | (寬)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg |
| 主要選項 | 背面對準系統 晶圓周邊曝光系統 晶圓周邊非曝光系統 薄晶圓輸送系統 兼容GEM通信 內聯兼容 |
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