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池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器
對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器，不僅可以精確穩定地進行微小壓力控制，還可以進行流量測量。
業務部門：半導體
產品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經過驗證的電容式壓力傳感器，可以在低壓下進行精確的壓力控制。
壓力控制期間高精度監控氣體流量。
對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器，不僅可以精確穩定地進行微壓差控制，還可以進行流量測量。
業務部門：半導體
產品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
供貨精準穩定
配備質量
流量傳感器配備質量流量控制器中廣泛使用的質量流量傳感器，可以以與原料氣體供應過程相同的精度監控實際流量。
與質量流量控制器相同的尺寸
與質量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以進行類似的設計和構造。
符合RoHS指令
這是一款配備數字控制電路的自動壓力調節器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應壓電閥。
采用全金屬結構（氣體接觸部分）和無死體積結構，可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩定的壓力控制。它可以使用外部信號進行遠程控制，非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統中，例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統。
| 互動規模 | 西北40 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
| 電導 （真空區域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 20升/分鐘
|
| 互動規模 | 西北50 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
| 電導 （真空區域） | 0.6～200升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 25升/分鐘 |
| 互動規模 | 25mm Teflon® 接頭 1 英寸 Teflon® 接頭 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | PTFE、PEEK、Viton® |
| 電導 （真空區域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 3升/分鐘 |
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